977 8” Wafer Cleaning System977 8英寸 晶圆清洗系统——977清洗机
Standard Features: 基本配置
Supporting up to 8"round substrates 支持到8吋的工作台
Atomizing cleaning 支持二流体清洗
Programmable recipes 可编程菜单
Storage capacity: 8 recipes 存储容量，可以存储8种
Internal vacuum generator 内含真空发生器
Spinner velocity range: 200-3,000 RPM 工作台转速可控，
200-3000转/分钟
Nitrogen and water adjustable pressure gages 二氧化氮和水
可调压力可调检测
Process monitoring and display 工作可控和展示
Automatic covering/opening 自动开合
Safety interlock 内含安全锁
Light tower
Dimensions (WxDxH): 410X625X946 mm 尺寸
电话：
0512-62956985
地址：
苏州高新区嵩山路210号附
E-mail：
szgbdz@yeah.net苏州无极3股份有限公司，主要以制造、研发及销售工业接着剂、工业用润滑油、自动化设备、无极3平台及之专业厂商，也是全球专业从事无极3注册研发推广和无极3娱乐产品系统供应服务的翘楚。
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